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电子半导体行业用超纯水设备系统优势
文章作者:莱特莱德 发布时间:2022-08-10
电子半导体行业用超纯水设备采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后期处理四大步骤,莱特莱德可根据客户需求,设计不同产水量、不同产水要求的超纯水设备。
电子半导体行业用超纯水设备工艺流程
1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:
原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式,其基本工艺流程为:
原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
3、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式,这是一种制取超纯水的工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:
原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
电子半导体行业用超纯水设备系统优势
1、系统采用新的水处理技术双级RO+EDI+混床模块化设计,严格按新技术设计标准,确保水质稳定,长效运行。
2、通过专业技术设计,确保系统短时停机及长时间停机时水质保持稳定。
3、通过专业技术保证终端出水恒压、水质稳定。
4、通过完善的技术,较大限度的提高系统回收率,降低能耗和运行成本。
5、采用海德能ESPA2超低压膜,运行稳定,能耗低。
6、采用PH调节系统以确保水温下降或原水PH值偏低时EDI出水水质。
7、配备专门的有化学清洗系统,可定期对反渗透进行化学清洗,以确保系统稳定运行。
8、配备浓水置换专业技术,防止膜系统受到微生物污染。
9、EDI及后段出水采用超纯水专用管道,较大限度的保证出水水质。
10、EDI水箱采用氮封装置,以确保终端水质稳定及延长核能混床寿命。
11、采用PLC加触摸屏控制系统,并采用进口电气原件,操作方便,运行稳定。
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